純度上區(qū)別
性質(zhì):無色無味無毒zhi氣體?;瘜W(xué)dao性質(zhì)不活潑,zhuan未形成任何化合物。相對密度shuds(21.1℃)1.38。氣體密度1.650kg/m3(21.1℃);液體密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸點(diǎn)-185.9℃。熔點(diǎn)-189.2℃。采用空氣分離提氬,即將液化的空氣進(jìn)行精餾,得到粗氬。抽出粗氬,經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬。高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體;可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體;在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管;焊接保護(hù)氣;在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣;在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。
高純氬應(yīng)用
高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體;可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體;在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管;焊接保護(hù)氣;在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣;在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。
在金屬冶煉方面,氧、氬吹煉是生產(chǎn)鋼的重要措施,每煉1t鋼的氬氣消耗量為1~3m3。此外,對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉,以及電子工業(yè)中也需要用氬作保護(hù)氣。